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产品介绍
主要特点
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详细说明
作为拥有30多年历史的贵金属热电偶行业先驱者, BASF已将其温度测量技术专长应用于光学温度测量。 BASF Exactus®红外温度传感器取得了技术性突破，在非接触式温度测量中表现出了显著的性能优势。与其他同类产品相比，其灵敏的电子技术、精密光学技术以及利用短波长测量低温的能力使得过程控制更加严格、精度更高、整体性能更好.
RTP机台测温仪EX-ET-222系BASF Exactus®系列产品在控制晶圆之间温度和薄膜厚度的均匀性方面具有许多优势：高度敏感的电子学和先进的光学技术意味着可以用更短波长的探测器来测量辐射能，这减少了晶圆透射及发射率造成的误差。此外，高速测量和高分辨率确保了控温和噪声抑制的优异性能， 由此提供了更好的晶圆温度监控和生产工艺。
RTP机台测温仪EX-ET-222采用900nm左右的传感器直连光管连接形式结合多通道IFM10-EC，最多可实现10点实时测量和记录，测温范围覆盖250-1300℃，精度高达1.5℃, 重复性0.1℃。可适配AMAT的RTP测温系统。
BASF Exactus®系列红外测温设备已广泛用于快速退火、快速氧化、薄膜沉积等半导体工艺，并被集成在多家MOCVD设备以及其他RTP设备上如：AIXTRON， LPE，Premtek，AMAT等。另外，由于其具有很高的测温精度和稳定性，也被一些高温黑体炉厂家作为温度标准器使用，如Thermogauge公司。
典型应用
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技术参数
| 测量参数 | |
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| 温度范围: | 250 – 1300℃ |
| 工作波长: | 约900nm |
| 测量精度: | 优于1.5℃ 或 0.15%测值 |
| 分辨率: | 最高0.01℃ |
| 重复精度: | 0.1℃ |
| 温度漂移: | 最大 0.10℃/年 环境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它温度 |
| 镜头: | 光管 |
| 物理参数 | |
|---|---|
| 环境温度: | 电子器件: 10 - 60℃ |
| 重量: | 标准高温计，0.222 kg |
| 功率: | 0.75W (电子模块) |
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